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CMP抛光用陶瓷载盘

2014-12-26

7.CMP抛光用陶瓷载盘

 

我司可提各种规格的供用于化学机械抛光用的陶瓷载盘。 该载盘可以用于抛光3, 4, 5, 6英寸的晶圆。并且有着较好的平坦度的平行度,材料结合精密且有着均一的微观结构。

特性:

热传导性好

平坦度高且无变形

无空洞,划痕和裂纹

 

 直径

平坦度

D410mm

2μm

D360mm

2μm

D305mm

2μm

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